Thay đổi thành phần khí và ảnh hướng lên tính chất điện của xả hàng rào điện môi cho phân hủy CHF3

Phân hủy CHF3 bằng phương pháp Plasma thường thực hiện với nồng độ thấp CHF3 trong khí đầu vào, thông thường là một vài nghìn ppm. Nồng độ CHF3 thấp như vậy dường như sẽ không ảnh hưởng gì đến tính chất điện của xả hàng rào điện môi. Tuy nhiên, trong nghiên cứu này chỉ ra sự thay đổi nồng độ trong thang ppm đó làm thay đổi đáng kể tính chất điện với khí pha loãng là N2. Trong một khía cạnh khác, việc thay đổi nồng độ CHF3 trong thang ppm không làm thay đổi đáng kể khi khí pha loãng là Ar và He. Quang phổ trong vùng nhìn thấy biểu thị xả N2 có bước sóng thấp (hình phía dưới).

Hình 1. Mối tương quan giữa quang phổ nhìn thấy được và thành phần khí.

Để dễ dàng quan sát và nhận thấy sự khác biệt các bạn có thể tham khảo video ghi hình plasma khi thành phần khí thay đổi dưới đây.

Chi tiết nghiên cứu các bạn tham khảo link bên dưới, bạn nào quan tâm mà không download được vui lòng để lại nhận xét yêu cầu bản full mình sẽ gửi qua email.

http://dx.doi.org/10.1016/j.jiec.2017.03.033