Phân hủy CHF3 bằng phương pháp Plasma thường thực hiện với nồng độ thấp CHF3 trong khí đầu vào, thông thường là một vài nghìn ppm. Nồng độ CHF3 thấp như vậy dường như sẽ không ảnh hưởng gì đến tính chất điện của xả hàng rào điện môi. Tuy nhiên, trong nghiên cứu này […]
